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Airiti Library華藝線上圖書館_降低PECVD承載腔體粉塵附著研究

A Study of Decreasing Particle Deposition in PECVD Load-Lock Chamber ... 本研究選用電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)設備為實驗機台，依據表面粗糙度與熱泳效應等理論 ...

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