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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

PECVD 製程原理, 電漿原理、CVD Clean endpoint 介紹、電漿中RF Vdc Vpp 代 ... 第三章討論實驗方法，介紹ASM PECVD 實驗設備，厚度量測設備及實驗.

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