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PECVD镀膜设备 - 北京嘉润通力科技有限公司
PECVD 镀膜设备. PEVCD(等离子增强化学气相沉积)最重要的应用之一是沉积微电子器件用绝缘薄膜,在低温下沉积氮化硅、氧化硅或硅的氮氧化物一类的绝缘薄膜,这对于超大 ...
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