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PECVD | SPTS

PECVD 等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）是一種利用等離子內的能量在晶片表面引發反應的工藝，否則該反應將需要與常規CVD相關的更高溫度。沉積過程中的高能離子轟擊還 ...

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