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CN102277562A - 薄膜太阳能电池多级pecvd沉积设备 - Google

本发明涉及一种用于沉积薄膜太阳能电池的多级等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，属于太阳能电池技术领域。解决PECVD沉积设备工艺气体利用率低、操作复杂等技术 ...

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