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pecvd設備

PECVD 工作原理. 腔體內有上下兩塊電極，工件置於下面的電極基板之上，電極基板加熱至100℃~400℃之間。. 在二電極板間外加一個高頻的射頻(radio frequency，RF) 電壓，此時在 ...

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