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行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告

through PECVD Technique ... 託，針對委託計畫「PECVD設備應用光電膜性能提昇研究」進行研 ... 鋅(AZO)，結合交大現有PECVD 製作氫化非晶矽薄膜太陽能電池沉.

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