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太陽能電池片生產設備 - SVCS Process Innovation

層應用的PECVD及LPCVD的批次式水平式擴散爐；超高純度氣體和液體傳輸系統。 所有設備同時可以應用於量產和研發條件。 簡介. • 磷、硼摻雜/ 擴散應用的常壓擴散爐（POCl.

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