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連續生產型超高頻電漿增強式鍍膜設備設計及其性能探討
陳偉瑜,電漿增強式化學氣相沈積裝置(PECVD)為光電半導體產業中,極關鍵之製程設備,該設備的量產型態最佳方案一直是業界持續關,月旦知識庫,整合十大資料庫交叉檢索 ...
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