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八大PECVD设备厂商及技术优势

梅耶伯格针对HJT 开发了HELiAPECVD 型号PECVD 设备，采用盒中盒式S-Cube 离子体平行板反应器，利用13.56MHz 射频源最小化等离子体在沉积过程中对薄膜造成 ...

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