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解讀：八大PECVD設備廠商及技術優勢 - 壹讀

梅耶伯格針對HJT 開發了HELiAPECVD 型號PECVD 設備，採用盒中盒式S-Cube 離子體平行板反應器，利用13.56MHz 射頻源最小化等離子體在沉積過程中對薄膜造成 ...

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