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PECVD電漿輔助化學氣相沉積 - 鉅永真空科技股份有限公司

二手設備買賣(1) · 二手設備買賣(2). PECVD電漿輔助化學氣相沉積. 1. 基板尺寸: 12” 2. 單腔體:約500x500x400mm 3. 加熱系統:搭配PID溫控器,Stage最高溫可控制在300℃

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