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基于PDMS微结构模板转印技术的研究

基于界面间粘附能理论，结合有限元模拟研究聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构模板 ... 分析了微结构转印过程中基底表面能、压力和SU-8胶溶剂对图形转印的影响。

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