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一种基于pdms模板和银板材料的超分辨光刻方法 - Google

一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法：在基底表面蒸镀与基底黏结能力较弱的金属膜层，并在其表面制作目标微纳结构；将PDMS与固化剂进行混合，并浇铸于金属膜层 ...

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