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介面科學與技術 - 第 335 頁 - Google 圖書結果

[23]在蚀刻有精细图纹的硅片表面浇铸聚二甲基硅氧烷(PDMS),加热固化后剥离,硅片上的精细图纹就传递到PDMS的表面上,这就是所谓的弹性“印章”(见图7.27)。

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