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PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺

摘要：介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷（PDMS）软模板的工艺方法，并实现了非平面微 ... 艺制备好的硅片硬母版上，经过固化后将PDMS剥.

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