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微型電磁式致動器陣列設計與製造張緯良、陳俊達

線圈，配合聚二甲基矽氧烷(PDMS)薄膜上的電鍍磁性薄膜，通入電流來產生類似波浪狀的位移，將來可以其 ... [20]楊啟榮，微機電製程之精密電鑄技術，國立台灣師範大學。

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