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半導體微影製程疊對控制之研究The Study of Semiconductor ...

學生研製此論文基於在半導體製造工作上有九年的經驗，而在微影製程的範疇 ... 責將晶圓上的影像傳至CCD ，而PDA 則是收集光的訊號資訊來調整焦點(focus )。

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