介電質成長後熱退火(PDA)及金屬後熱退火(PMA)製程將會嚴重地影響鉑/三氧化二鋁/砷化銦鎵(Pt/Al2O3/In0.53Ga0.47As)結構的金氧半導體電容(MOSCAP)特性。
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