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熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)

可偵測訊號：二次電子、背向散射電子 10.真空度：5 x 10-8 pa (SP1) 11.附有IR CAMERA, PCD BLANKER, BEI DETECTOR, EDS ... 量測液態試片之尺寸、分散性或均勻性。

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