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油扩散泵｜真空泵（高真空）的基础知识 - ULVAC SHOWCASE

缺点 油蒸气会从喷嘴回流到真空侧. 油扩散泵的结构. 通过超音速喷出的蒸气排气. 本体底部的油被加热器加热成为蒸汽。 ... PBL-20. ULVAC. 油扩散泵.

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