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CMOS工藝流程詳解 - ITW01

來源：半導體內功修煉. CMOS工藝流程介紹. 1.襯底選擇：選擇合適的襯底，或者外延片，本流程是帶外延的襯底；. 2. 開始：Pad oxide氧化，如果直接澱積 ...

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