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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識

答：Oxide etch and nitride etch 半導體中一般介電質材質為何? 答：氧化矽/氮化矽 何謂濕式蝕刻答：利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜去除 何謂電漿Plasma?

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