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光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務 - 管理學院

技術，然而半導體所牽涉的技術層面極廣，包括機械、電子、電機、化學、物. 理甚至數學等技術的整合。 ... 初步氧化墊層氧化(Pad Oxide)。 3. 場區氧化(Field Oxide)。

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