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工學院半導體材料與製程設備學程碩士論文

高壓半導體元件淺溝槽隔離製程之差排改善及良率提昇研究. Dislocation Improvement and Yield ... 步驟一如圖2.2 所示: 在P型矽基板上成長一墊氧化層(Pad Oxide.

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