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MOSFET正面金屬化製程高CP值選擇-化鍍 - iST宜特

... 清洗和蝕刻，將鋁墊表面的有機物殘留以及自然氧化物(Native oxide)去除， ... (二) 如果前段代工廠的鋁墊開窗製程(Pad Opening)蝕刻不淨該怎麼辦?

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