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藉由不同堆疊結構對提升鍺/矽p - 逢甲大學

中文 摘要. 本專題的研究中，主要是探討提升源極/汲極( Raised Germanium ... 以高溫爐管成長墊氧化層( Pad Oxide ) 350Å，以及用低壓爐管沈積氮.

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