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應用材料公司最新電子束量測系統提升高數值孔徑極紫外光 ...

晶片製造商在微影成像機（lithography scanner）將圖案從光罩轉移到光阻後，可利用關鍵尺寸掃描式電子顯微鏡 （CD-SEM） 對其進行次奈米級的量測作業，並 ...

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