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Canon FPA-3000i5+ Stepper

Overlay Accuracy. /Mean/ + 3 sigma ≦ 45nm. Throughput. 100 wph (200mm). Page 2 ... 讓機台對準系統量測每一個shot 中C3 位置的BL1 mark，定出每一個shot 的中. 心位置 ...

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