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CN107024841A - 一种光刻光学式叠对量测图型结构

... 量测图型结构可以增加量测的精准度，减少量测误差，再利用本发明的图型结构偏移参数回馈补正下一次制作的当前层图型，从而克服制程中的机台误差等引起的变异。

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