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光學微影的限制

層疊(Overlay) 是用以量測一個微影圖案置於晶圓時的精準度，而在晶圓上先前已有定義過的圖案(參考圖1)。在刻印小圖案時，必須取得正確的特徵尺寸並準確地將特徵置於晶 ...

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