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實現製造生產力改善以及降低測試晶圓成本

通常表面粗糙度的測量方式是. 使用檢測工具機來檢測haze、其成分為低頻率、低振幅. 來自晶圓表面上的散射光源。Haze 的測量單位為ppm，. 是平均表面散射強度與入射鐳射光束 ...

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