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半导体里的OCD与CD - 车阵百科网

by 半导体CD 量测方法 at 2022-04-25 15:31:54 ... 由于CD-SEM 需要将待测晶圆臵于真空，因此检测速度较慢，目前基于衍射光学原理的非成像光学关键尺寸（OCD）测量设备 ...

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