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飛行時間式二次離子質譜儀（TOF-SIMS）於半導體產業檢測之 ...

至於成份分析的儀器種類就更多了，依照設備的分析原理及其擅長的領域來 ... 優異的偵測極限，可以量測出固體材料中元素含量至百萬分之一以下的濃度。

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