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半導體scd量測 資訊整理 | 電腦資訊007情報站

KLA-Tencor在过去15年来为半导体产业IC组件的CD与外观形状量测，提供利用椭圆偏光法(spectroscopic ellipsometry)以及反射法(reflectometry)的SCD度量工具；其SRM测量 ...

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