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工研院量測中心將研發發展65奈米量測技術 - CTIMES

工研院量測中心日前宣布將與美國Accent Optical Technologies共同合作研發65奈米微影製程疊對量測 ... Microscopy）原理提升量測精密度並降低量測儀器所產生的誤差。

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