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多重曝光微影邁入商用ASML首部機台正式出貨 - 新電子

半導體 微影設備大廠艾司摩爾(ASML)宣布，首部支援多重曝光技術的浸潤式微影機台TWINSCAN NXT:1980Di，無論疊對(Overlay)精準度或對焦一致性表現，皆已 ...

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