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overlay半導體
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https://technews.tw/2019/07/23/asml-keep-the-euv-temperature/
ASML 以3 種方式控制半導體微影設備恆溫,以打造奈米等級晶片
ASML 表示,微影設備是半導體製程重要的關鍵,設備效能直接影響積體電路的「關鍵尺寸」(CD)和「疊對」(Overlay)。特別是積體電路製程邁入7 奈米 ...
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