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奈米與半導體產業計量研究室

同時半導體業界在overlay的解析度要求已達到0.5奈米以下，而薄膜厚度已達1奈米以下，目前光學檢測方法皆遇到偵測極限而無法精確量測，影響元件良率及性能。

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