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LED行业用光阻剂的简介及应用实例探讨 - 电子工程世界

半导体 制程常用的正型光阻剂，在光学曝光方式下，光阻剂上层接受能量较下层 ... 曝光方式即得到Overhang的图形，而负型光阻剂的成像恰好与正型光阻剂 ...

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