半導體. SiCl2H2 (二氯矽烷;DCS). Si (磊晶). SiCl3H (三氯矽烷;TCS). SiCl4 (四氯矽烷;Siltet) ... 的氧化物製程被廣泛的使用在半導體工 ... 懸突(Overhang) ...
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