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CN101263372A - 光学微型光谱仪

一种具有多晶片结构的光谱仪(10，20，30，40，50)。该结构可以利用MEMS技术来制造。该光谱仪可以与流体分析器(110)集成。连同光发射点(17)和检测器(19)一起位于罗兰 ...

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