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OPC光罩 - 解釋頁

OPC 光罩Optical Proximity Correction Mask。 ... OPC技術是利用各種專業軟體在傳統光罩上加各種不同圖形，可應用在0.18～0.36微米晶圓製程製作上，並可由OPC光罩延伸 ...

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