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IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小

自光學微影技術出現以來，積體電路（Integrated circuit, IC）的體積跟隨著摩爾定律不斷縮小，到我們踏入5 奈米量產世代的今日，IC 可以說足足縮小了 ...

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