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半导体自动物料搬运系统项目可行性研究报告 - 知乎专栏

半导体 制造工厂的自动化系统主要由空中无人搬运车（OHT）、洁净存储系统（STK）和移动机器人（AGV）等产品组成。 半导体工厂自动化对工厂的稼动率非常重要 ...

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