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國立臺灣大學電機工程學研究所碩士論文 Dynamic OHT ...

隨著半導體製程技術的成熟，十二吋晶圓廠在未來幾年將成為半導體製造的 ... 懸吊式搬運系統(OHT, Overhead Hoist Transport)是一種很適合應用在十二吋晶圓.

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