自動化 在8 吋以下之晶圓製造廠中是最. 難達成,其所有的晶圓在灣區內主要皆. ,AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,而OHT(AGV/PGV/RGV)负责Intrabay ...
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