你即將離開本站

並前往https://www.edntaiwan.com/20170926ta01-7nm-cmos-logic-se-fog/

針對7nm CMOS邏輯產品線上控制的光學量測策略

表2顯示量測框上的傳統1D薄膜、FoG和OCD在圖案化目標上採用傳統散射測量(OCD)之間的比較。從中可以看出，FoG不僅提供測量精準度高和迅速形成解決方案的 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「ocd量測」的人也找了：

  1. optical critical dimension原理
    2.
  2. 量測gof值
    3.
  3. 橢偏儀量測
    4.
  4. gof值半導體
    5.
  5. ellipsometry量測
    6.
  6. TCD 半導體
    7.
  7. RI 值 半導體
    8.
  8. 橢圓測厚儀原理
    9.