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多角度分光光譜臨界尺寸測量儀 - Quatek

光學臨界尺寸（OCD）和高級膜分析計量. FilmTek TM CD光學關鍵尺寸系統是SCI針對1x nm設計節點及更高級別的全自動化，高通量CD測量和高級薄膜分析的領先解決方案。

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