你即將離開本站

並前往https://m.huxiu.com/article/1501520.html

2万字长文：从KLA看量测设备的护城河

由于CD-SEM需要将待测晶圆置于真空，因此检测速度较慢，目前基于衍射光学原理的非成像光学关键尺寸（OCD）测量设备已成为先进半导体制造了艺中的主要工具 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「ocd量測」的人也找了：

  1. optical critical dimension原理
    2.
  2. 量測gof值
    3.
  3. 橢偏儀量測
    4.
  4. gof值半導體
    5.
  5. ellipsometry量測
    6.
  6. TCD 半導體
    7.
  7. RI 值 半導體
    8.
  8. 橢圓測厚儀原理
    9.